为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下:
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
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1 | 松山湖材料实验室临界点干燥仪设备采购项目 | 标的名称:临界点干燥仪 标的数量:1 主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下晶片****等器件的临界点干燥工艺。 需满足的要求:"需满足的工艺技术指标: 1、样品尺寸:2-8寸; 2、干燥器件:****器件、生物传感器及各类微机械传感器等; 3、干燥介质:液态*氧化碳(****); 4、单次8寸晶圆处理能力:≥5片; 5、内置过滤装置,过滤流进样品室的液态*氧化碳:≤0.***; 6、压力范围:0-*******; 7、温度范围:-**至**℃。" | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展*********、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 1,***,***.** | ****年**月 | |
2 | 松山湖材料实验室铟蒸发台设备采购项目 | 标的名称:铟蒸发台 标的数量:1 主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下晶片**柱蒸发制备工艺 需满足的要求:"主要技术指标和要求: 1)样品尺寸:8寸向下兼容,可进行碎片工艺; 2)蒸发入射角<7°; 3)工件台可控低温不高于-**℃,控温精度优于±3℃; 4)片内均匀性:≤±5%(8寸); 5)工艺重复性:≤±3%;" | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展*********、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 2,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
****年**月**日
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